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基于聚焦离子束的氮化硅纳米孔的制备和表征

来源：生物物理学报更新时间：2013-06-30 19:10:17 浏览次数：

南京邮电大学和东南大学武灵芝等以氮化硅绝缘材料为基底,采用微加工技术设计和制备了自支撑氮化硅悬空膜结构,然后利用聚焦离子束刻蚀悬空膜。通过优化聚焦离子束的系统参数,得到一系列孔径和锥度可控的纳米孔。通过扫描电镜和电学信号显示,该纳米孔具有很好的表面特性和伏安特性。当加入DNA分子时,电流瞬时下降,得到一系列明显、稳定的阻塞信号。说明该方法制备的纳米孔稳定可靠,可以用于不同生物分子的检测和分析。

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