近日,北京大学彭练矛等人在碳纳米管电子学领域取得世界级突破:首次制备出5纳米栅长的高性能碳纳米晶体管,并证明其性能超越同等尺寸的硅基CMOS(互补金属-氧化物-半导体)场效应晶体管,将晶体管性能推至理论极限。
据了解,因主流硅基CMOS技术面临尺寸缩减的限制,20多年来,科学界和产业界一直在探索各种新材料和新原理的晶体管技术,但没有机构实现10纳米的新型CMOS器件。彭练矛课题组经过10多年的研究,开发出无掺杂制备方法,研制的10纳米碳纳米管顶栅CMOS场效应晶体管,其p型和n型器件在更低工作电压(0.4V)下,性能均超过了目前最好的硅基CMOS。现在,他们又克服了尺寸缩小的工艺限制,成功开发出5纳米栅长碳纳米晶体管。
研究表明,与相同栅长的硅基CMOS器件相比,碳纳米管CMOS器件具有10倍左右的速度和动态功耗综合优势,以及更好的可缩减性。
他们还研究了器件整体尺寸的缩减及其对器件性能的影响,将碳管器件的接触电极长度缩减到25纳米,在保证性能的前提下,实现了整体尺寸为60纳米的碳纳米晶体管,并且成功演示了整体长度为240纳米的碳管CMOS反相器,这是目前实现的最小纳米反相器电路。
资料来源于科技日报。
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