（中国粉体技术网/三水）扫描电子显微镜分为冷场发射扫描电子显微镜、热场发射扫描电子显微镜、环境扫描电子显微镜等不同类型。图1为JSM-6700F型场发射扫描电镜的全景图。
图1 JSM-6700F场发射扫描电镜 
图2 扫描电子显微镜结构示意图 1、电子光学系统
由电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成（图3）。电子光学系统的作用是获得扫描电子束，作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
图3 扫描电子显微镜电子光学系统组成示意图 2、信号收集及显示系统
作用是检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的调制信号。普遍使用的是电子检测器，它由闪烁体、光导管和光电倍增器组成（如图4）。
图4 扫描电子显微镜信号收集及显示系统示意图 3、真空系统和电源系统
真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作，防止样品污染，提供高的真空度，一般情况下要求保持10-4～10-5Torr的真空度。电源系统由稳压、稳流及相应的安全保护电路所组成，其作用是提供扫描电镜各部分所需的电源。
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