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中科院与西电合作研发超高灵敏度氧化锌双纳米片垂直压电晶体管
来源:中国粉体技术网    更新时间:2017-05-05 10:39:27    浏览次数:
 
  近日,中科院王中林院士和西安电子科技大学秦勇教授带队研究人员通过Zn(CHCOO与THAM合成ZnO双纳米片,通过射频磁控溅射在SiO2/Si沉积了Cr/Au(5nm/60nm)层,然后在其上负载ZnO双纳米片,从而得到ZnO双纳米片压电晶体管。此器件的压电灵敏度可高达1448.08~1677.53meV/MPa,比先前报道的最高纳米线基压电晶体管高50倍左右,此外在紫外光辐射下,该器件的光电响应率可达1.45×104A·W-1
  
图一 ZnO双纳米片的表征及性能测试
图一 ZnO双纳米片的表征及性能测试
  
  (a-b)ZnO双纳米片的SEM图像:(a)顶视图,(b)侧视图,图中的尺度大小为1mm;
  (c)不同射频频率下,ZnO单纳米片与双纳米片压电系数图;
  (d)TNPT的结构示意图;
  (e)TNPT的能带图;
  (f)不同的压力下,TNPT的电压vs.电流关系图;
  (g)反向偏置时,TNPT的电压-电流关系图;
  (h)计算肖特基势垒变化量随压力变化的关系曲线图。

 
图二TNPT的压电性能测试
图二TNPT的压电性能测试
  
  (a)偏置电压为-1.5时,电流随压力的变化图示;
  (b)电流对数值vs.外加压力的实验值与拟合曲线;
  (c)压电电流vs.间隔外加压力关系曲线,器件表现出非凡的灵敏度和施加压力与电导之间的调制关系;
  (d)在145s-165s时间段内,电流与负载压力的相应变化图。

 
图三 TNPT的三维有限元模拟计算
图三 TNPT的三维有限元模拟计算
  
  (a)有限元模拟为0.001压缩应变下,传统纳米线/棒基压电晶体管示意图;
  (b)不同的外加应力下,传统纳米线/棒基压电晶体管电流压vs.与电压流曲线,插图为施加外力前后,器件的能带变化示意图;
  (c)有限元模拟为0.001压缩应变下,TNPT结构示意图;
  (d)不同的负载压力下,TNPT电流vs.电压曲线图,插图为施加外力前后,ZnO双纳米片压电晶体管的能带变化示意图。

 
图四不同的外加应力下,TNPT的光响应性能测试
图四不同的外加应力下,TNPT的光响应性能测试
  
  (a)恒定光照条件下,不同的压力对应的源-漏伏安特性;
  (b-c)TNPT的光敏性和光响应性与施加压力间的函数关系曲线;
  (d)紫外辐照下,TNPT的能带图谱,以及TNPT增强模式的工作机理,ΦB代表肖特基势垒。
  
  研究人员通过成功制备ZnO双纳米片材料,然后将其负载在蒸镀有Cr/Au层的SiO2/Si基片上,由于ZnO纳米片独特的镜面对称结构及优异的压电性能,能够有效地降低肖特基势垒,直接将机械刺激转化为电学信号。测试结果显示,此ZnO双纳米片压电晶体管的压电灵敏度可高达1448.08~1677.53meV/MPa,其性能远远优于目前所报道的纳米线/棒基压电晶体管,其在诸多领域都有很好的发展光景。
  资料来源:材料牛 


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