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| 等离子体制备纳米晶相氮化硅粉体的研究 |
| 来源：沈阳农业大学学报 更新时间：2013-06-06 09:17:06 浏览次数： |
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华南农业大学联合华南师范大学，通过感应耦合等离子体技术产生尘埃等离子体，采用四氢化硅（SiH4）和氮气（N2）为反应气体，气相沉积制备出氮化硅（Si3N4）纳米粉体材料。尘埃等离子体技术制备的纳米Si3N4粉体材料为球形，均匀分布在20nm，并且具有β- Si3N4晶相。该方法实现了在非高温的条件下，通过添加β- Si3N4籽晶来增韧氮化硅陶瓷的目的，大大提高了氮化硅材料的弹性模量和烧结后的强度和韧度。
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