美国尤尼明IOTA-STD产品的Al、B、Li、K、Na、Ca、Mg、Ti、Fc、Mn、Cu、Cr、Ni等杂质元素总含量通常＜20×10-6，最大值＜22×10^-6。对于这样高纯度的物质，采用化学分析法和X射线荧光光谱法（XRF）是难以满足其质量检测要求的。
　　对于金属元素，尤其是微量金属元素的检测，电感耦合等离子体发射光谱法（ICP-OES）最具优势，具有检出限良好，检测精确度高、耗时短、灵敏度高等特点。目前ICP-OES已经成为检测高纯物料微量化学成分的有效方法。

　　ICP检测技术是高纯石英技术的重要支撑和组成部分，对促进我国高纯石英技术发展不仅具有现实意义，而且具有重要理论意义。
　　如表1所示，同样是美国尤尼明高纯石英样品，其杂质含量的国内ICP检测结果（81.89×10^-6）与该公司文献公布结果（最大31.1×10^-6）存在较大差异，说明目前我国在低杂质检测技术上尚存在一些问题，与国际先进水平还存在明显差距。

　　高纯石英的物理和化学性质稳定，具有杂质含量低、溶矿难度大等特点。在高纯石英检测样品消解和溶矿过程中，所涉及基本因素有：试样重量、试剂组合、试剂用量、试剂纯度等。
　　（1）高纯石英ICP检测技术包括：试样制备和仪器检测两大部分，其技术关键是试样的消解和溶矿制备。
　　实验表明：在试样制备过程中，所采用的试样重量、试剂组合、试剂用量、试剂纯度等对ICP检测结果会产生重要的影响。
　　（2）试样消解和溶矿制备的优化条件是：高纯石英用量≥2000mg；试剂纯度为高纯级（MOS或BV-III），试剂组合为HF+HNO₃；浓HNO₃分3次使用，总用量≥5mL；HF用量为25mL。
　　（3）根据高纯石英砂加工工艺特点和对纯度要求，在整个试样制备过程中，都不能采用钢筛，以避免产生铁质污染。
　　另外，在超净实验室条件下进行高纯石英试样消解和溶矿制备，将有利于避免空气杂质污染、减少检测误差。


　　发展我国高纯石英技术是一项系统工程，仅仅从某个方面努力是难以达到效果的。


　　原料选择技术是高纯石英技术的基础和前提，在缺少高纯石英原料选择技术情况下，难以获得高品质原料；
　　在缺少高品质原料情况下，难以加工出高端产品；
　　在缺少加工装备技术情况下，难以实现高端产品产业化；
　　在缺少质量检测技术情况下，各项工作将都难以开展。
　　目前我国高纯石英技术已经取得一定进展，主要标志是初步具有4N高纯石英中端产品的批量生产能力，并基本掌握了高纯石英质量检测技术。但是，我国目前还没有4N8及以上高端产品生产能力，表明与国际先进水平的差距依然很大。
　　要改变我国高纯石英技术的相对落后状态，应从国家层面上调动和组织科研力量，政、产、学、研相结合，开展高纯石英原料选择技术、加工工艺技术和加工装备技术攻关，为我国高纯石英高端产品产业化提供技术支撑。