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石英块体表面制备氮化硅层的研究 |
来源:硅酸盐通报 更新时间:2013-06-13 21:39:53 浏览次数: |
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桂林理工大学徐卓等以高纯Si粉或Si3N4粉为反应原料,分别以SiO2粉、MgO粉、CaO粉,或者自制玻璃粉为粘结剂,按不同质量百分比与PVA饱和溶液混合,分层涂抹在石英块体表面。在N2气氛中,于1500℃高温氮化烧结180min,在石英块体表面制备氮化硅层。XRD与EDS图谱的分析结果表明,以SiO2粉、MgO粉、CaO粉为粘结剂,产物层物相为氮化硅或氧氮化硅,产物层致密且有一定厚度和强度,但是产物层和石英块体的结合性差;以自制玻璃粉为粘结剂的实验结果表明:产物层主要物相为氮化硅,产物层有一定厚度和强度,而且与石英块体的结合性较好。 |
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