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| 高精度氮化硅陶瓷球批量加工研磨工艺研究 |
| 来源：机电工程 更新时间：2013-06-06 09:23:14 浏览次数： |
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| 浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部/浙江省重点实验室和江苏智邦精工科技有限公司为解决高精度氮化硅陶瓷球批量研磨加工的问题，将超精密研磨技术应用到氮化硅陶瓷球的加工实验中。开展了研磨过程的分析，建立了不同研磨阶段陶瓷球球度、表面质量及材料去除率与所选不同大小粒度磨料之间的关系，并提出了对比分析的方法，在通过专业设备检测的基础上对成品球球度、表面粗糙度和振动值进行了评价。研究结果表明，氮化硅陶瓷球能够批量生产且球度达到0.062μm以下，表面粗糙度达到1.48 nm以下，振动值达到24 dB以下，实现了批量生产G3级氮化硅陶瓷球的目的。 |
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