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硅粉常压直接氮化制备氮化硅粉的研究 |
来源:硅酸盐通报 更新时间:2013-06-06 09:18:14 浏览次数: |
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北京科技大学尹少武等以平均粒径为2.8 um 的硅粉为原料,添加氮化硅粉作为稀释剂,对常压氮气下直接氮化制备Si3N4粉的工艺进行了研究,分析了硅粉常压直接氮化制备Si3N4粉过程中稀释剂种类、稀释剂添加比例、氮化温度、氮化时间等因素对硅的氮化过程的影响。通过一系列的探索,发现当添加30%的α- Si3N4粉作为稀释剂、氮化温度为1550℃、氮化时间为10min时,合成了氮含量为39.4%,游离硅为0.7%,主要为α相、含部分β相的Si3N4 粉,实现了硅粉常压高温直接氮化工艺制备Si3N4粉。 |
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